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 廠區和設備

穩銀已建造完整的類LIGA製程的環境,公司的無塵室(class 100等級)可分為黃光區、電鑄區和後段製程區:

黃光區: 光阻塗佈機、曝光機、顯影機、烤箱及電漿蝕刻機等

電鑄區: 電鑄槽(鎳合金, 銅…)、檢測設備及剪力分析儀器等

後段製程區: 平坦化設備等

 
設備能力
 黃光製程
  •  最大曝光面積: 150mm x 150mm或300mm x 300mm
  •  層對層之對位精度: 2 microns

 電鑄製程

  • 最大電鑄面積: 150mm x 150mm或300mm x 300mm
  • 材料: 鎳合金,銅…
 平坦化製程
  • 總厚度變化: < 2 microns
  • 單層厚度控制: <2 microns
  • 表面粗糙度: < 5 nms
 
Lithography Area Electro-forming Area
 
 

 

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